トレーサビリティ

トレーサビリティ

当社は、国立研究開発法人 産業技術総合研究所との共同研究を通じて、国家標準とのトレーサビリティを取得しております。お客様に信頼性の高い製品をお納めすることができます。

1.平面度

高精度の面精度の測定は、国立研究開発法人 産業技術総合研究所との共同研究の成果であるλ/100(λ=632.8nm)の基準原器を装着したZygo 社のフィゾー干渉計で行います。
これにより、信頼性の高い極めて高精度な測定が可能です。

トレーサビリティ体系図

国立研究開発法人 産業技術総合研究所
計量標準総合センター
平面度校正用フィゾー干渉計
国家標準器
平面度校正用フィゾー干渉計

株式会社テクニカル
Φ90mm λ/100 基準原器
器物番号 TF 4-00001

λ/100 基準原器
株式会社テクニカル
フィゾー干渉式平面測定システム
Zygo 社Verifire XPZ 製造番号 12-26-653137
フィゾー干渉式平面測定システム

当社Φ90mm λ/100基準原器研究成果(pdf)
国立研究開発法人 産業技術総合研究所との共同研究「極めて平坦な平面ガラス基板を開発」

2.角度

当社の角度の測定は、国立研究開発法人 産業技術総合研究所の技術であるSelfA 技術を使用した超高精度角度測定器(測定精度±0.2 秒)で行います。

0.2秒とは1,000km離れた先のズレ量が1mになる極めて小さな角度です。

SelfA(自己校正型角度測定装置)の詳しい説明は以下をご覧ください。
エ・モーションシステム株式会社

トレーサビリティ体系図

国立研究開発法人 産業技術総合研究所
計量標準総合センター
角度校正装置(AE -M01-1)とオートコリメータ(AE -M09)を用いた比較校正法
国家標準器
角度校正装置
株式会社テクニカル
(株)ニコン ポリゴン鏡
器物番号 9291
ポリゴン鏡
株式会社テクニカル
エ・モーションシステム(株)
自己校正式角度測定器 SCMS-107
シリアル番号 E MS-15128-1610-01
自己校正式角度測定器

国立研究開発法人 産業技術総合研究所の(株) ニコン ポリゴン鏡 校正証明書(pdf)

SelfA 校正結果1

本校正結果は、(株)ニコン ポリゴン鏡(器物番号9291)を用いて自己校正式角度測定器SCMS-107( シリアル番号EMS-15128-1610-01)を校正したものである。

校正をした装置 エ・モーションシステム(株) 自己校正式角度測定器 SCMS-107
シリアル番号 EMS-1512801610-01
校正項目 角度
校正方法 自己校正式角度測定器による角度測定
校正に用いた測定器 (株)ニコン ポリゴン鏡
器物番号9291
校正室の環境条件 温度20℃±0.5℃
校正年月日 2017年5月22日
測定データ

グラフ

SelfA 校正結果2

本校正結果は、当社保有のハイデンハインのローターリーエンコーダRON905(シリアル番号54 330 478D) を自己校正式角度測定器SCMS-107( シリアル番号EMS-15128-1610-01)で校正したものである。

産総研による校正結果の値と本角度測定器で校正した時の値を比較すると、±0.03 秒以内で一致した。この結果から、角度測定器の校正精度が±0.03 秒以内の精度でロータリーエンコーダを校正する能力があることがわかる。

校正をした装置 ハイデンハイン ロータリーエンコーダ
本体:RON905(シリアル番号54 330 478D)
信号変換ユニット:EXE602E(シリアル番号 55 538 845)1
※目盛線本数:36000、システム精度:±0.4 秒
校正項目 角度
校正方法 自己校正式角度測定器による角度測定
校正に用いた測定器 エ・モーションシステム株式会社 自己校正式角度測定器 SCMS-107
シリアル番号 EMS-1512801610-01
校正室の環境条件 温度20℃±0.5℃
校正年月日 2017年5月24日

測定データは、36,000 ポイントのデータ量となるため、産総研の校正結果との差分のグラフのみを掲げる。

国立研究開発法人 産業技術総合研究所 ハイデンハイン ロータリーエンコーダRON905(シリアル番号54 330 478D) の校正結果報告書(pdf)
エ・モーションシステム株式会社 12面鏡角度測定報告書(参考)(pdf)

3.寸法

当社の寸法測定装置は、当社保有の(株)ミツトヨゲージブロック 50mm、100mm、150mm、200mm を用いて社内にて校正をしております。なお、ここに掲げている測定器以外も同様に校正をしております。

国立研究開発法人 産業技術総合研究所
計量標準総合センター
協定世界時に同期した原子時計及び光周波数コム装置
国家標準器

株式会社ミツトヨ宇都宮計量標準キャリブレーションセンタ
(JCSS 認定事業者 No. 0031)
長さ用633nm よう素分子吸収線波長安定化He-Ne レーザー装置
校正周期 1 回/5 年

株式会社ミツトヨ 宮崎工場(JCSS 認定事業者 No. 0030)
長さ用633nm 実用波長安定化He-Ne レーザー装置
校正周期 1 回/3 年

株式会社ミツトヨ 宮崎工場
校正用ブロックゲージ
校正周期 1 回/1,2 年

株式会社ミツトヨ
ゲージブロック
(当社保有)
50mm 製造番号 080705
100mm 製造番号 080504
150mm 製造番号 080000
200mm 製造番号 080049
ゲージブロック

当社保有測定器

株式会社ミツトヨ ゲージブロック トレーサビリティ証明書(pdf)

※以下に当社の代表的な寸法測定器の校正結果を掲げます。

校正をした装置 キーエンス IM6020 シリアル番号 2C012037
校正項目 長さ
校正方法 ゲージブロックによる長さ測定
校正に用いた機器 (株)ミツトヨ ゲージブロック 50mm 製造番号 080705
校正室の環境条件 温度20℃±2 度
校正年月日 2017年6月5日
測定結果 拡張不確かさk=2 0.3μm

大型オスカー研磨機呼び長さからのズレ量mm

オスカー研磨機当社保有 キーエンス IM6020
シリアル番号 2C012037
校正をした装置 (株)ニコン NEXIV VM-250 シリアル番号 1002222
校正項目 長さ
校正方法 ゲージブロックによる長さ測定
校正に用いた機器 (株)ミツトヨ ゲージブロック 200mm 製造番号 080049
校正室の環境条件 温度20℃±0.5度
校正年月日 2017年6月23日
測定結果 拡張不確かさk=2 0.1μm以下

大型オスカー研磨機呼び長さからのズレ量mm

オスカー研磨機当社保有(株)ニコン
NEXIV VM-250
シリアル番号 1002222
校正をした装置 カールツアイスイエナ 万能測定顕微鏡 ZKM01-250D シリアル番号 907
校正項目 長さ
校正方法 ゲージブロックによる長さ測定
校正に用いた機器 (株)ミツトヨ ゲージブロック 200mm 製造番号 080049
校正室の環境条件 温度20℃±0.5度
校正年月日 2017年6月23日
測定結果 拡張不確かさk=2 0.4μm

大型オスカー研磨機呼び長さからのズレ量mm

オスカー研磨機
当社保有カールツアイスイエナ
ZKM01-250D
シリアル番号 907

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