トレーサビリティ

トレーサビリティを確保した高精度な測定器で保証

当社の主要な測定器は国立研究開発法人 産業技術総合研究所との共同研究を通じて、国家標準とのトレーサビリティを確保しております。また、その他の測定器類もメーカーでの校正もしくは、校正を受けたスケール等で校正をしております。
お客様に信頼性の高い製品をお納めすることができます。

1.面精度

高精度の面精度の測定は、国立研究開発法人 産業技術総合研究所との共同研究の成果であるλ/100(λ=632.8nm)の基準原器を装着したZygo 社のフィゾー干渉計で行います。
これにより、信頼性の高い極めて高精度な測定が可能です。

トレーサビリティ体系図

国立研究開発法人 産業技術総合研究所
計量標準総合センター
平面度校正用フィゾー干渉計
国家標準器
平面度校正用フィゾー干渉計

株式会社テクニカル
Φ90mm λ/100 基準原器
器物番号 TF 4-00001

λ/100 基準原器
株式会社テクニカル
フィゾー干渉式平面測定システム
Zygo 社Verifire XPZ 製造番号 12-26-653137
フィゾー干渉式平面測定システム

当社Φ90mm λ/100基準原器研究成果(pdf)
国立研究開発法人 産業技術総合研究所との共同研究「極めて平坦な平面ガラス基板を開発」

トレーサビリティ体系図

2.角度

角度の測定は、通常の測定はツガミの角度基準原器(±1秒)とニコン6D暗視野オートコリメーターを使用した比較測定(±3秒~5秒以下を測定)。ツガミの角度基準原器は日本品質保証機構で3年に一度校正をしており、国家標準にトレーサブルです。
高精度角度測定は、ハイデンハイン製高精度エンコーダ(±1秒)とニコン6D暗視野オートコリメーターを使用したスペクトロメーターで測定(±2秒以下)を測定します。
超高精度角度測定は産総研の特許技術を使用したSelfAとトライオプティクス社製オートコリメーター(±0.2秒)で測定(±0.2秒以下を測定)します。

角度

0.2秒とは1,000km離れた先のズレ量が1mになる極めて小さな角度です。

SelfA(自己校正型角度測定装置)の詳しい説明は以下をご覧ください。
エ・モーションシステム株式会社

トレーサビリティ体系図

国家研究開発法人 産業技術総合研究所 
計量標準総合センター
国家標準器(角度:ロータリーエンコーダー)
角度校正装置
ロータリーエンコーダー
ハイデンハイン製:RON905
(シリアル番号:54 330 478 D,
信号変換ユニット:EXE602E)
ロータリーエンコーダー
株式会社テクニカル
自己校正式角度測定器 SCMS-107
(エ・モーションシステム(株))
シリアル番号 EMS‐15128‐1610‐01
自己校正式角度測定器
校正対象 エ・モーションシステム株式会社製
自己校正式角度測定器 SCMS-107
シリアル番号 EMS‐15128‐1610‐01
校正項目 角度
校正方法 ロータリーエンコーダーを用いた比較校正
参照標準 ハイデンハイン製ロータリーエンコーダー:RON905
(シリアル番号:54 330 478 D, 信号変換ユニット:EXE602E)
校正室の環境条件 温度20℃±0.5℃
校正年月日 2017年5月22日

測定結果

測定結果    下図の通り
拡張不確かさ  0.2秒

校正の不確かさは拡張不確かさであり、包含係数k=2で決定され、約95%の信頼の水準を
もつと推定される区間を定める。

測定結果

(株)テクニカル校正証明書(pdf)
国立研究開発法人 産業技術総合研究所 ハイデンハイン ロータリーエンコーダRON905(シリアル番号54 330 478D) の校正結果報告書(pdf)

Nikon八面鏡

写真・校正証明書・トレーサビリティ体系図

Nikon八面鏡
Nikon八面鏡
Nikon八面鏡

株式会社ツガミ 角度ブロックゲージ・平行ブロックゲージ

写真・校正証明書・トレーサビリティ体系図

角度ブロックゲージ・平行ブロックゲージ
角度ブロックゲージ・平行ブロックゲージ
角度ブロックゲージ・平行ブロックゲージ

3.寸法

寸法測定装置は、メーカーによる校正または、当社保有の校正した各種寸法ゲージを用いて校正をしております。

Carl zeiss ZKM01-250D

写真・検査成績書

Carl zeiss ZKM01-250DCarl zeiss ZKM01-250D

Nikon VM-250

写真・校正証

Nikon VM-250Nikon VM-250

ニコンガラススケール

写真・トレーサビリティ体系図

ニコンガラススケールニコンガラススケール

ミツトヨ ブロックゲージ6個

基準スケール300mm トレーサビリティ体系図

ミツトヨ ブロックゲージ6個

ミツトヨ ゲージブロックBM3-10-0

写真・校正証明書・トレーサビリティ体系図

ミツトヨ ゲージブロックBM3-10-0ミツトヨ ゲージブロックBM3-10-0
ミツトヨ ゲージブロックBM3-10-0

ミツトヨ ゲージブロック4個

写真・校正証明書・トレーサビリティ体系図

ミツトヨ ゲージブロック4個ミツトヨ ゲージブロック4個
ミツトヨ ゲージブロック4個

Nikon対物ミクロメーター

写真・検査成績書・トレーサビリティ体系図

Nikon対物ミクロメーターNikon対物ミクロメーター
Nikon対物ミクロメーター

4.表面粗さ

表面粗さの測定は、zygoの三次元構造解顕微鏡で測定をします。測定精度は1Åです。

NewView7300

写真・検査証明書・zygoのトレーサビリティ体系図

NewView7300NewView7300
NewView7300

5.平行度

平行度の測定は、通常ニコン6D暗視野オートコリメーターを使用して3秒以下を測定します。高精度測定の場合は、Zygoの干渉計で0.5秒以下を測定します。

Zygo干渉計

写真・検査証明書・トレーサビリティ体系図

Zygo干渉計Zygo干渉計
Zygo干渉計

ツガミ 平行ブロックゲージ

写真・校正証明書・トレーサビリティ体系図

ツガミ 平行ブロックゲージツガミ 平行ブロックゲージ
ツガミ 平行ブロックゲージ

ミツトヨ ゲージブロックBM3-10-0

写真・校正証明書・トレーサビリティ体系図

ミツトヨ ゲージブロックBM3-10-0ミツトヨ ゲージブロックBM3-10-0
ミツトヨ ゲージブロックBM3-10-0

オプチカルパラレルOP-12トレーサビリティ体系図

オプチカルパラレルOP-12トレーサビリティ体系図

外観検査は、当社で開発した表面品質比較判断プレート」を使用しています。「表面品質比較判断プレート」は、産総研にて測定をしていただき、ホームページ上に不確かさを明記しております。
また、スクラッチ幅やお客様のご要望により使用するこう光源や装置も使い分けております。詳しくは「当社MIL規格の仕様」をご覧ください。

代表的な寸法測定器の校正結果

校正をした装置 キーエンス IM6020 シリアル番号 2C012037
校正項目 長さ
校正方法 ゲージブロックによる長さ測定
校正に用いた機器 (株)ミツトヨ ゲージブロック 50mm 製造番号 080705
校正室の環境条件 温度20℃±2 度
校正年月日 2017年6月5日
測定結果 拡張不確かさk=2 0.3μm

大型オスカー研磨機呼び長さからのズレ量mm

オスカー研磨機当社保有 キーエンス IM6020
シリアル番号 2C012037
校正をした装置 (株)ニコン NEXIV VM-250 シリアル番号 1002222
校正項目 長さ
校正方法 ゲージブロックによる長さ測定
校正に用いた機器 (株)ミツトヨ ゲージブロック 200mm 製造番号 080049
校正室の環境条件 温度20℃±0.5度
校正年月日 2017年6月23日
測定結果 拡張不確かさk=2 0.1μm以下

大型オスカー研磨機呼び長さからのズレ量mm

オスカー研磨機当社保有(株)ニコン
NEXIV VM-250
シリアル番号 1002222
校正をした装置 カールツアイスイエナ 万能測定顕微鏡 ZKM01-250D シリアル番号 907
校正項目 長さ
校正方法 ゲージブロックによる長さ測定
校正に用いた機器 (株)ミツトヨ ゲージブロック 200mm 製造番号 080049
校正室の環境条件 温度20℃±0.5度
校正年月日 2017年6月23日
測定結果 拡張不確かさk=2 0.4μm

大型オスカー研磨機呼び長さからのズレ量mm

オスカー研磨機
当社保有カールツアイスイエナ
ZKM01-250D
シリアル番号 907

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