特殊プリズム・ウェッジ基板

特殊プリズム・ウェッジ基板

株式会社テクニカルは、国内唯一の特注品製造メーカーです。微小プリズムから大型平面基板まで多種・多様なご要望に独自の加工技術でお応えします。 テクニカルでは高精度の検査装置を完備し、確実な品質保証をしております。テクニカルのプリズムはピラミダル±1 分を保証します。
当社の検査・加工技術は世界的にもトップレベルです。試作メーカーとして国内数百社のお客様に製品をお納めしております。

プリズム・ウェッジ基盤角度原器

様々なプリズム

プリズムプリズムプリズムプリズムプリズムプリズムプリズムプリズムプリズムプリズムプリズムプリズム

加工精度

最小加工形状 0.15㎜
最大加工形状 150㎜
寸法公差 ±0.01㎜以下
角度公差 ±0.5秒以下
面精度 Φ90mmの範囲内にてλ/100(測定値)
Φ150mmの範囲内にてλ/60(測定値)
Φ300mmの範囲内にてλ/20(測定値)
表面粗さ 1Å(rms)以下
ピラミダル 通常1分以下、5秒以下も可能
外観規格 スクラッチ1μm~
ディグ 5μm~
接合 5μmのエアギャップ接合可能
硝材 一般光学ガラス、合成石英、サファイヤ、水晶、ルビー、ジルコニア、セラミック、YAG、蛍石、シリコン、ゲルマニウム、フッ化マグネシウム等

測定保証について

  • 面精度は、産総研との共同研究で開発した国家標準とのトレーサビリティが取れた基準原器を用いた干渉計で測定。
  • 表面粗さは、zygoの三次元構造解顕微鏡NewView7300で測定。
  • 平行度は、通常測定の場合、ニコン6D暗視野オートコリメーターを使用して3秒以下を測定。
    高精度測定の場合、Zygoの干渉計で0.5秒以下を測定。
  • 角度は、通常測定の場合、ツガミの角度基準原器(±1秒)とニコン6D暗視野オートコリメーターを使用した比較測定(±3秒~5秒以下を測定)。
    高精度角度測定の場合、ハイデンハイン製高精度エンコーダ(±1秒)とニコン6D暗視野オートコリメーターを使用したスペクトロメーターで測定(±2秒以下)。
    超高精度角度測定の場合、産総研の特許技術を使用したSelfAとトライオプティクス社製オートコリメーター(±0.2秒)で測定(±0.2秒以下を測定)。高精度な角度の加工が可能。
  • 寸法は、当社保有のトレーサビリティを確保した(株)ミツトヨゲージブロックを用いて社内にて校正をした寸法測定器を測定範囲、測定精度によって選択。
  • 外観検査は、当社で開発した表面品質比較判断プレート」を使用。「表面品質比較判断プレート」は、産総研にて測定をしていただき、ホームページ上に不確かさを明記。また、スクラッチ幅やお客様のご要望により使用する光源や装置を選択。

関連リンク

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お見積ご依頼の際のご考慮事項

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超高精度平面製作技術

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極めて滑らかな表面粗さ

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当社MIL 規格の仕様

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コーティング、コート付微小プリズム

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測定設備

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