超高精度角度測定器

超高精度角度測定器

「テクニカルの超高精度角度測定器」

当社では、産総研様の技術であるSelfAテクノロジーを用いたエンコーダーを内蔵した回転テーブルと超高精度オートコリメータを組み合わせた装置を製作し、角度国家標準器と同じように自己校正を行うことにより角度精度±0.2秒以下での角度測定を可能としました。この測定器により、±0.2秒以下の角度精度での加工が可能となりました。

0.2秒とは1,000km離れた先のズレ量が1mになる極めて小さな角度です。

スペクトロメーター

SelfA内蔵の超高精度角度測定器

スペクトロメーター

テクニカルでは製品の各面の中心同士で確度を測定しています

SelfAで測定しなければならないような微小な角度の測定の場合は面の面精度も影響します。当社では角度測定の際には測定対象の面同士の中心で測定を行っております。

90 度基準組立治具を測定中

90度基準組立治具を測定中
角度基準となる組み立て調整用の90 度基準ブロックを測定しています。

産業技術総合研究所の校正証明書

産業技術総合研究所の国家角度標準器と当社超高精度角度測定器の二次標準に用いられた高精度ロータリーエンコーダ:ハイデンハイン RON905
産業技術総合研究所 校正証明書
校正結果証明書ダウンロード

ポリゴン角度測定報告書

ポリゴン角度測定報告書ダウンロード

「産総研の角度国家標準器」

産総研の特許技術を利用しています。

ご参考リンク

自己校正機能で角度誤差を出力するロータリーエンコーダ
角度誤差の定量的な把握で角度制御の精度を向上

ロータリーエンコーダに角度標準は必要か角度偏差の「見える化」を可能にしたロータリーエンコーダの開発

角度国家標準器技術で±0.2秒以下

産業技術総合研究所、工学計測標準研究部門で開発された角度国家標準器(写真)は、等分割平均法を用いた角度の自己校正法に基づく角度校正原理により、ロータリーエンコーダーを不確かさ0.01秒で高精度に校正する能力があります。さらに、産総研ではこの原理を組み込んだインテリジェントなロータリーエンコーダーが、自己校正機能付きロータリーエンコーダー「SelfA」として開発されました。SelfAは、角度誤差を自ら検出し補正することで不確かさ0.1秒の精度を達成することが可能です。

産業技術総合研究所はアメリカ国立標準技術研究所(NIST)やドイツ国家標準件研究機関(PTB)などと並び、世界の主要な国家標準機関です。世界レベルの標準規格の連携を取っています。

角度国家標準機SelfA説明図

「オートコリメーターと角度原器を使用した角度測定」

一般的な角度測定は、オートコリメーターを使用して角度原器との比較を行います。
角度原器自体の誤差や、測定誤差など様々な誤差要因が重なる間接測定の為、±3~5秒以内での測定が限度と思われます。

オートコリメータ

「スペクトロメーターを使用した角度測定」

プリズムの角度測定はロータリーエンコーダーとオートコリメーターとを組み合わせたスペクトロメーターで行います。しかし、ロータリーエンコーダーの目盛誤差や、内蔵する時の軸偏心誤差、視準誤差などの微細な誤差の影響があることから、プリズムの角度を±1秒以内で測定することは、一般的に困難です。

ロータリーエンコーダー

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