テクニカル

超滑らかな表面研磨技術

当社では表面粗さRMS１Å以下の極めて滑らかな平面の研磨が可能です。
基板の表面が滑らかになると光の散乱や吸収が少なくなり、特にパワーレーザーの破壊耐量の向上につながります。
測定装置はZygo　NewView7300 です。

研磨例1

石英　RMS　0.827Å

研磨例2

サファイヤ　RMS　0.909Å

研磨例3

蛍石　RMS　0.873Å

参考

肌面の指定について

海外の製品など肌面の指定がある場合当社ではJIS　B0090-8の附属書A（参考）「微小欠陥による光学的平滑面の規定」を採用し以下の解釈としております。