超滑らかな表面研磨技術
当社では、産業技術総合研究所との共同研究を行っております。表面粗さRMS1Å以下の極めて滑らかな平面の研磨が可能です。
Zygo NewView7300での測定値となります
研磨例1
石英 RMS 0.827Å


研磨例2
サファイヤ RMS 0.909Å


研磨例3
蛍石 RMS 0.873Å


参考
肌面の指定について
海外の製品など肌面の指定がある場合当社ではJIS B0090-8の附属書A(参考)「微小欠陥による光学的平滑面の規定」を採用し以下の解釈としております。
研磨段階の呼び方 | 表面粗さRMS(単位μm) |
---|---|
P1 | ≦0.008 |
P2 | ≦0.004 |
P3 | ≦0.002 |
P4 | ≦0.001 |