超滑らかな表面研磨技術

超滑らかな表面研磨技術

当社では、産業技術総合研究所との共同研究を行っております。表面粗さRMS1Å以下の極めて滑らかな平面の研磨が可能です。
Zygo NewView7300での測定値となります

NewView7300

写真、検査証明書、zygoのトレーサビリティ体系図

研磨例1

石英 RMS 0.827Å

研磨例2

サファイヤ RMS 0.909Å

サファイヤの研磨例
サファイヤの研磨例

サファイヤの研磨例

研磨例3

蛍石 RMS 0.873Å

蛍石の研磨例
蛍石の研磨例

蛍石の研磨例

参考

肌面の指定について

海外の製品など肌面の指定がある場合当社ではJIS B0090-8の附属書A(参考)「微小欠陥による光学的平滑面の規定」を採用し以下の解釈としております。

研磨段階の呼び方 表面粗さRMS(単位μm)
P1 ≦0.008
P2 ≦0.004
P3 ≦0.002
P4 ≦0.001

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