表面品質比較判断プレート

表面品質比較判断プレート

当社内で外観検査での比較検査の限度見本として独自に開発して使用していたものです。この「表面品質比較判断プレート」は、来社されます多くのお客様のご要望にお応えして、更に外観検査がしやすくなるように改良し、外販用に製作したものです。

これまでMIL規格の外観検査用のプレートは他社様からも販売されておりますが、このような比較用のプレートとの「キズやポツの見え方」という検査員の感覚での良否判定に頼っているのが現状です。検査員の感覚で納める製品の品質(不良品の流出、過剰品質)が決まってしまい売り上げや会社の信用に直結する、会社にとっては危惧される状況です。

当社の「表面品質比較判断プレート」は、このような感覚での検査から客観的な寸法での判断を行うために作成しました。比較用のキズの線幅、ポツの直径の寸法は全てμm単位の絶対値で表示しています。これにより、従来品に比べてより直接的で正確な比較・判断が可能となります。

外観検査は検査員の目のコンディションが大きく影響します。見えづらい朝、見慣れてくる昼、疲れがたまる夕方と、一日の中でも大きく見え方が変わります。不良品の流出や過剰品質を防ぐ為にも、判断に悩んだらすぐに当社の「表面品質比較判断プレート」で比較判断することが必要です。

また、当社は試作メーカーとして多くの会社様とのお取引の経験から、会社様によってMIL規格の解釈が異なることを認識しています。このためMIL規格だけではなく、スクラッチ幅、ディグの直径を数値的に管理することが如何に重要かを認識しております。このような理由から当社では、以前より規格をミクロン単位でお見積に記載しております。

特徴

●コイルストラップ付き
検査員がすぐに参照できるようクリーンベンチに下げられるようになっています。
●顕微鏡でも線幅がすぐわかる
顕微鏡の視野の中でも確認できる小さな文字が線のすぐ脇に記入されており、線幅がすぐにわかります。間違いの無いスピーディーな検査が出来ます。
●正確な線幅
半導体用描画装置で作成した極めて高精度な寸法です。産総研で測定した結果を本ページに記載しております。
●光源を選びません
蛍光灯や電球、集光等など様々な光源での目視比較検査にお使いいただけます。


表面品質判断プレート
表面品質判断プレート
(プラスチックホルダーが付属します。)

100W電球での目視検査
100W電球での目視検査
(クリーンベンチに吊り下げています。)

顕微鏡での検査顕微鏡での検査

「製品の仕様 当社オリジナル」

顕微鏡で拡大した視野の中で希望のスクラッチやディグを見付けやすいよう、誘導の為の矢印が付いています。また、その視野の中に見えるスクラッチやディグの大きさを確認する為の小さな数字が印字されています。

スクラッチ(キズの線幅)

スクラッチ

ディグ(ポツの直径)

ディグ

スクラッチ(キズの線幅)

幅(μm) 幅(μm)
80 10
60 5
40 4
30 3
25 2
20 1
15

ディグ(ポツの直径)

幅(μm) 幅(μm)
600 50
400 40
300 30
200 20
150 10
100 5

寸法精度は下記「国立研究開発法人産業技術研究所の測定報告書」を参照のこと。
※万一表面が汚れた場合には、やわらかい布にアルコールを浸しふき取ってください。
※サンプルの貸し出しを行っております。ご希望の方はご相談ください。
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産総研の測定結果

測定方法

1.測定は、レーザ干渉計搭載画像測定機を用いて行いました。画像測定機において、 各マークのエッジ位置を検出し、その位置をレーザ干渉計を用いて測定しました。

  • 装置の横方向の分解能: 1.25 nm
  • 縦方向の分解能: 1.25 nm
  • 測定繰り返し精度: 計測対象物、測定条件によって異なりますが、今回の場合、15 nm から 80 nm 程度。

2.測定結果の幅および直径は、各マークの幅または直径の20℃における測定値から、 呼び寸法値を差し引いた値としました。

3.測定中の環境及び測定条件は以下のとおりでした。

  • 気温 19.7℃ ~ 20.1℃
  • 器物の温度 19.9℃ ~ 20.3℃
  • 照明:透過照明 光量0.60(裝置表示値)
  • 対物レンズ倍率:25倍
  • 総合倍率:50倍

4.器物の熱膨張係数は、4.7×10-7 K-1 としました。

測定実施条件

1.スクラッチ測定

  • 各線につき、図1のように、線の中心から左右3mm、2mm 離れた4箇所の線幅を測定し、平均値を1回の測定値としました。
  • 10回の繰返し測定を行い、10回の測定値の平均値を線幅の測定結果としました。

2.ディグ測定

  • 各マークにつき、図2のように約90度ずつ離れた位置の円弧のエッジ4点を検出しました。
  • 4点から最小二乗円を計算し、その直径を求め、1回の測定値としました。
  • 10回の繰返し測定を行い、10回の直径の測定値の平均値を直径の測定結果としました。
線幅測定位置
直径測定位置

測定結果

スクラッチ

呼び値
(μm)
呼び値からの偏差
(μm)
不確かさ
(μm)
80 0.28 0.12
60 0.26 0.15
40 0.26 0.15
30 0.21 0.07
25 0.16 0.10
20 0.17 0.14
15 0.17 0.09
10 0.19 0.12
5 0.14 0.13
4 0.15 0.17
3 0.16 0.12
2 0.16 0.12
1 0.19 0.14
ディグ
直径
呼び値
(μm)
呼び値からの偏差
(μm)
不確かさ
(μm)
600 0.29 0.05
400 0.27 0.05
300 0.17 0.05
200 0.25 0.04
150 0.27 0.04
100 0.16 0.03
50 0.28 0.04
40 0.26 0.05
30 0.17 0.05
20 0.13 0.11
10 0.06 0.04
5 -0.01 0.05

(呼び値からの偏差)=(測定値)-(呼び値) [μm] とした。

(備考) 測定の不確かさは、包含係数 k=2の拡張不確かさとして求め、約95%の信頼の水準を持つ区間を与える。
この結果は、上記測定装置を用いて、上記の測定条件で測定したときのものであり、他の装置、測定条件での測定値を保証するものではない。


表面品質比較判断プレート(スクラッチ&ディグ検査用)

商品番号 A15700B
材質 合成石英ガラス
形状 90×65×1.5t(mm)
価格(税別) 39,800円
価格(税込) 42,984円(消費税3,184円)

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