測定設備

測定設備

当社では恒温室の温度を世界の公的機関と同じ20℃±0.5℃に常時設定してあります。

光学部品はÅオーダー(1mmの10000000分の一)を測定するため、温度による膨張なども問題となります。当社では一年を通して20℃±0.5℃に保たれた恒温室を保有しており、面精度や表面粗さなどの精密な測定はこの恒温室に設置されている測定機器で測定しております。特に重要な測定器は、20℃±0.1℃に設定しております。お客様に信頼の高いデータをお出しすることができます。

保有測定機器

三次元構造解析顕微鏡

三次元構造解析顕微鏡三次元構造解析顕微鏡 検査証明書

  • メーカー:Zygo NewView 5030
  • 測定精度:表面粗さ1Å~
三次元構造解析顕微鏡三次元構造解析顕微鏡 検査証明書

  • メーカー:Zygo NewView 7300
  • 測定精度:表面粗さ1Å~

干渉計

干渉計

  • メーカー:Zygo 12インチ
  • 基準原器:λ/20
透過波面測定用反射板

  • 透過波面測定用反射板
  • メーカー:Zygo 12インチ
  • 基準原器:λ/20
Zygo社 λ/40の基準原器しかもダイナフレクトコート付!反射率の高い面精度の測定が可能となりました。

最近ではコーティング後の面精度測定を求められることが多くなっていることから、高い反射率を持つ平面板の面精度を測定する為に、Zygo社のダイナフレクトコートが施された6インチ、λ/40の基準原器を導入させて頂きました。
これは4%から99%までの高反射率を持った製品の面精度を測定するための基準原器です。今まで高い反射率の製品の測定をしなければならない時には、基準原器の前に網状のものを置くなどして減衰させて面精度の測定を行ないコーティング後の面精度の保証をしていました。これは昔、取引先より教えて頂いた方法です。
ダイナフレクトコートの基準原器を使用してみましたところ、それまでの測定値に大きな測定誤差のあることがわかり、この基準原器がコート後の面精度の測定にいかに重要かを認識しました。

ダイナフレクトコート

  • メーカー:Zygo 6インチ
  • ダイナフレクトコート基準原器:λ/40
金コート基板測定データダイナフレクトコート

  • 金コート基板測定データ
干渉計解析装置干渉計解析装置 検査証明書

  • 干渉計解析装置
干渉計干渉計 検査証明書

  • メーカー:Zygo社
  • 基準原器:λ/40
干渉計干渉計 検査証明書

  • メーカー:Zygo 4インチ
  • 高精度基準原器:λ/70
    (産総研との共同研究)
干渉計

  • FUJINON
  • 6インチ、4インチ
高精度基準原器

  • 6インチ用
  • 高精度基準原器:λ/60
    (産総研との共同研究)
高精度基準原器

  • 4インチ用
  • 高精度基準原器:λ/100
    (産総研との共同研究)

測定顕微鏡

測定顕微鏡測定顕微鏡 検査成績書

  • メーカー:Carl zeiss ZKM01-250D
  • 測定精度:0.1μm
寸法測定顕微鏡寸法測定顕微鏡

  • (左)メーカー:OLYMPUS BX60M
  • (右)メーカー:Nikon MM60
  • 測定精度:0.1μm

画像寸法測定装置

画像寸法測定装置画像寸法測定装置 校正証

  • メーカー:Nikon VM-250、Nikon VM-150N
  • 測定精度:0.1μm
画像寸法測定装置

  • メーカー:KEYENCE IM6020、
    KEYENCE IM6145、VM0840
  • 測定精度:0.1μm
画像寸法測定装置

  • メーカー:KEYENCE VM8040
  • 測定精度:1μm
デジタルマイクロスコープ

  • デジタルマイクロスコープ
  • メーカー:KEYENCE VHX-5000

超高精度角度測定器

超高精度角度測定器

  • 国家標準機と同じ角度偏差を評価する自己校正機能内蔵
超高精度角度測定器モニター画面

  • 保証値:±0.2秒
    (産業技術総合研究所の特許技術)

スペクトロメーター

スペクトロメーター

  • メーカー:HEIDENHAIN ロータリーエンコーダー
  • 分解能:0.36秒
  • 測定保証値:1~2秒
スペクトロメーター

  • メーカー:HEIDENHAIN ロータリーエンコーダー
  • 分解能:0.36秒
  • 測定保証値:1~2秒

オートコリメータ―

オートコリメータ―

  • メーカー:Nikon 6D
オートコリメータ―

  • メーカー:Nikon 6D
    (3方向同時測定)

その他の測定機

レーザー変位計

  • レーザー変位計 厚み測定
  • 測定精度:1μm
ひずみ計

  • ひずみ計

ハイトゲージ

ハイトゲージ

  • メーカー:Mitutoyo
  • 保証値:0.0001mm
ハイトゲージ

  • メーカー:Nikon
  • 保証値:0.0007mm

表面品質判断プレート

表面品質判断プレート

  • 目視検査用品質判断プレート
  • 寸法精度:0.1μm
外観目視検査

  • クリーンブース、クリーンベンチでの外観検査

ゲージ、スケール

ニコン 8面鏡ニコン 8面鏡 校正証明書

  • 8面鏡
  • メーカー:Nikon
ニコン 精度測定用スケールニコン 精度測定用スケール 検査成績書

  • 精度測定用スケール 300mm
  • メーカー:Nikon
ニコン 対物ミクロメーターニコン 対物ミクロメーター校正証明書

  • 対物ミクロメーター 300mm
  • メーカー:Nikon
角度ブロックゲージ、平行ブロックゲージ角度ブロックゲージ、平行ブロックゲージ 校正証明書

  • 角度ブロックゲージ、平行ブロックゲージ
  • メーカー:(株)ツガミ
ゲージブロック、オプチカルパラレルゲージブロック 校正証明書

  • ゲージブロックBM3-10-0
  • オプチカルパラレルOP-12
  • メーカー:Mitutoyo
オプチカルパラレル 校正証明書
ゲージブロックゲージブロック 校正証明書

  • ゲージブロック
  • メーカー:Mitutoyo

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