超高精度平面度基準原器

超高精度平面度基準原器

高精度な平面基板は、半導体分野、レーザー分野、医療分野、光通信分野、計測分野など技術が高度化している産業を中心として需要が高まっています。製品の構造が微細化する中、部品の精密計測や調整を行うにあたり、光の干渉を応用したナノメーターオーダーでの計測が必要となっています。その性能を左右する重要な測定基盤である平面度測定技術に要求される精度は年々高まる一方であり、平面度の測定をするための高精度な平面度基準原器が必要となっています。

テクニカルの平面基板

当社は、共同研究を通じ産業技術研究所での平面形状の評価をもとに合成石英を使用した超高精度平面基準原器の研磨加工に取り組みました。さらに研磨した平面基板の保持機構などを工夫することで、保持後の面精度の変形やたわみの発生を極力押えΦ100mmの90%でλ/100平面基準原器を製造し、測定保証をすることができるようになりました。今後さらなる高精度な平面基準原器の制作を目指しております。

テクニカルの平面基板 面精度

平面基準原器Φ100mm 90% λ/100
(ハウジングヘポッティング後)

平面基準原器Φ150mm λ/60
(ハウジングヘポッティング後)

Φ100mm平面原器測定データ
Φ100mm平面原器測定データ
(ハウジングヘのポッティング後の面精度 産業技術総合研究所 測定)

ダイナフレクトコート(新規導入!)

zygo社の特許技術のダイナフレクトコート付λ/40のレーザー干渉計基準原器を導入し、コート後の測定保証が可能となりました!
このダイナフレクトコート付基準原器は、4%~99%の反射率を持った製品の面精度測定可能として高精度基準原器です。従来は、反射率が高い製品の測定は減衰フィルターなどを使って測定していましたが、この基準原器の導入によりコート後の面精度測定の測定精度を格段に向上させることがきました。

ダイナフレクトコート

  • メーカー:Zygo 6インチ
  • ダイナフレクトコート基準原器:λ/40
金コート基板測定データダイナフレクトコート

  • 金コート基板測定データ

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