コーティング・コート付極小プリズム

コーティング・コート付極小プリズム

微細加工品へのコートも可能

1辺が0.15mmのビームスプリッタです。外周4側面ARコート、接合面PBSコートの接合品です。このような微細加工品へのコートも可能です。

微細加工品のARコートとPBSコート
微細加工品のARコートとPBSコート
測定装置
日立 U-4000,U-4100,UH-4150
日本分光 V-550,V-670,FTIR-4100
オリンパス USPM― RU

コートは外注となりますが、多くのコート会社に協力をしていただき、最終仕様までの保証をしてお出しいたします。コート品のご相談の際に以下についてご提示ください。その他の詳しい仕様については、その都度お伺いいたします。

  1. 使用波長帯域
  2. 入射角
  3. 反射率(透過率)
  4. 偏光特性

Zygo社 λ/40の基準原器しかもダイナフレクトコート付!反射率の高い面精度の測定が可能となりました。

最近ではコーティング後の面精度測定を求められることが多くなっていることから、高い反射率を持つ平面板の面精度を測定する為に、Zygo社のダイナフレクトコートが施された6インチ、λ/40の基準原器を導入させて頂きました。
これは4%から99%までの高反射率を持った製品の面精度を測定するための基準原器です。今まで高い反射率の製品の測定をしなければならない時には、基準原器の前に網状のものを置くなどして減衰させて面精度の測定を行ないコーティング後の面精度の保証をしていました。これは昔、取引先より教えて頂いた方法です。
ダイナフレクトコートの基準原器を使用してみましたところ、それまでの測定値に大きな測定誤差のあることがわかり、この基準原器がコート後の面精度の測定にいかに重要かを認識しました。

ダイナフレクトコート

  • メーカー:Zygo 6インチ
  • ダイナフレクトコート基準原器:λ/40
金コート基板測定データダイナフレクトコート

  • 金コート基板測定データ

各種コート

反射防止膜(ARコート)

反射防止膜(ARコート)ガラス表面での反射を防止するコートです。波長帯域、反射率、入射角などに合わせたコートを施します。

反射膜

反射膜波長帯域により反射膜の材質が変わります。アルミや金などが多く用いられます。また、保護膜はSi02やMgF2などが用いられます。

偏光膜

偏光膜P偏光、S偏光の特性を活かしたコートをします。特定の偏光成分を透過または反射したり、P、S偏光の強さの割合を決めます。

各種フィルター・ミラー

各種フィルター・ミラー光の強さを決めるNDフィルター、特定の波長を境にして反射・透過を分けるダイクロイックミラー、特定の波長帯域を透過させるバンドパスフィルター、特定の直線偏光を透過させる偏光フィルター、赤外線カットフィルター、紫外線カットフィルターなど様々な機能を持つフィルターが製作可能です。

パターニング

パターニングガラス基板上に様々なパターンを加工することができます。半導体などのパターン照射に使用するフォトマスクや、透過光の形状を作るためのマスクに使われます。

撥水膜/親水膜

撥水膜/親水膜水分や油分の付着などが問題になる場所などで使用されます。カメラなどのレンズの前に設置しできるだけ映像に水滴や曇りの影響が出ないようにします。

透明電導膜(ITO膜)

液晶基板などの硝子表面に電極として使われています。その他ガラス基板の透明なヒーターとして基板を加熱することでガラスの曇りの防止をしたり、理化学実験機器などの透明ヒーター装置として使用されます。

各種コート例

各種コート例各種コート例各種コート例各種コート例各種コート例各種コート例

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