コーティング・コート付極小プリズム

コーティング・コート付極小プリズム

当社では平面基板、プリズム、異型加工品など様々な製品にいろいろな種類のコーティングが可能です。コートは、外注となりますが、多くのコート会社に協力をしていただき、最終仕様までの保証をしてお出しいたします。
また、面精度保証に関してはコート前での保証とさせていただいております。ご了承ください。
また、当社では高反射率のミラーの面精度を測定するためのZygo 社のダイナフレクトコート付の干渉計用のλ/40の基準原器を保有しており、高反射率のミラーの高精度での面精度の測定が可能です。

測定装置
日立 U-4000,U-4100,UH-4150
日本分光 V-550,V-670,FTIR-4100
オリンパス USPM― RU

コート付き微小プリズム

1辺が0.15mmのビームスプリッタです。外周4側面ARコート、接合面PBSコートの接合品です。このような微細加工品へのコートも可能です。

微細加工品のARコートとPBSコート
微細加工品のARコートとPBSコート

Zygo社 λ/40の基準原器しかもダイナフレクトコート付!反射率の高い面精度の測定が可能となりました。

最近ではコーティング後の面精度測定を求められることが多くなっていることから、高い反射率を持つ平面板の面精度を測定する為に、Zygo社のダイナフレクトコートが施された6インチ、λ/40の基準原器を導入させて頂きました。
これは4%から99%までの高反射率を持った製品の面精度を測定するための基準原器です。今まで高い反射率の製品の測定をしなければならない時には、基準原器の前に網状のものを置くなどして減衰させて面精度の測定を行ないコーティング後の面精度の保証をしていました。これは昔、取引先より教えて頂いた方法です。
ダイナフレクトコートの基準原器を使用してみましたところ、それまでの測定値に大きな測定誤差のあることがわかり、この基準原器がコート後の面精度の測定にいかに重要かを認識しました。

ダイナフレクトコート

  • メーカー:Zygo 6インチ
  • ダイナフレクトコート基準原器:λ/40
金コート基板測定データダイナフレクトコート

  • 金コート基板測定データ

各種コート

反射防止膜(ARコート)

反射防止膜(ARコート)ガラス表面での反射を防止するコートです。波長帯域、反射率、入射角などに合わせたコートを施します。

反射膜

反射膜波長帯域により反射膜の材質が変わります。アルミや金などが多く用いられます。また、保護膜はSi02やMgF2などが用いられます。

偏光膜

偏光膜P偏光、S偏光の特性を活かしたコートをします。特定の偏光成分を透過または反射したり、P、S偏光の強さの割合を決めます。

各種フィルター・ミラー

各種フィルター・ミラー光の強さを決めるNDフィルター、特定の波長を境にして反射・透過を分けるダイクロイックミラー、特定の波長帯域を透過させるバンドパスフィルター、特定の直線偏光を透過させる偏光フィルター、赤外線カットフィルター、紫外線カットフィルターなど様々な機能を持つフィルターが製作可能です。

パターニング

パターニングガラス基板上に様々なパターンを加工することができます。半導体などのパターン照射に使用するフォトマスクや、透過光の形状を作るためのマスクに使われます。

撥水膜/親水膜

撥水膜/親水膜水分や油分の付着などが問題になる場所などで使用されます。カメラなどのレンズの前に設置しできるだけ映像に水滴や曇りの影響が出ないようにします。

透明電導膜(ITO膜)

液晶基板などの硝子表面に電極として使われています。その他ガラス基板の透明なヒーターとして基板を加熱することでガラスの曇りの防止をしたり、理化学実験機器などの透明ヒーター装置として使用されます。

各種コート例

各種コート例各種コート例各種コート例各種コート例各種コート例各種コート例

ご依頼時のお願い

  • コーティングのご依頼の際は、①使用波長帯域、②入射角、③反射率(透過率)、④偏光特性、⑤有効範囲をお知らせください。より詳細な仕様が必要になった場合はあらためて仕様の確認をいたします。
  • 平面基板などで表裏に別々の特性のコーティングをする場合で、見かけ上区別をしづらいものなどは、側面に矢印などで方向が分かるような印を付けるご要望などが多いため、どんな印をどちらの方向に付けるかをご指示ください。
  • コート面にはコートシロといって、コートの際に装置に固定するための治具を付ける場所が必要です。コートシロにはコートが付きません。コートをご検討の際には外周から1mm程度をコートシロとしてお考えいただくようお願いいたします。全面にコートが必要な場合(小さな製品など)は予め、全面にコートが必要なことをお教えください。
  • 基板材料が合成石英の場合、輸出の可能性の有無をお知らせください。非該当証明書やMSDS などが必要となる場合、それらをメーカーから取り寄せるため、材料のメーカー、 硝材名を予め決めておかなければならなりません。

測定保証について

  • 面精度は、産総研との共同研究で開発した国家標準とのトレーサビリティが取れた基準原器を用いた干渉計で測定。
  • 表面粗さは、zygoの三次元構造解顕微鏡NewView7300で測定。
  • 平行度は、通常測定の場合、ニコン6D暗視野オートコリメーターを使用して3秒以下を測定。
    高精度測定の場合、Zygoの干渉計で0.5秒以下を測定。
  • 角度は、通常測定の場合、ツガミの角度基準原器(±1秒)とニコン6D暗視野オートコリメーターを使用した比較測定(±3秒~5秒以下を測定)。
    高精度角度測定の場合、ハイデンハイン製高精度エンコーダ(±1秒)とニコン6D暗視野オートコリメーターを使用したスペクトロメーターで測定(±2秒以下)。
    超高精度角度測定の場合、産総研の特許技術を使用したSelfAとトライオプティクス社製オートコリメーター(±0.2秒)で測定(±0.2秒以下を測定)。高精度な角度の加工が可能。
  • 寸法は、当社保有のトレーサビリティを確保した(株)ミツトヨゲージブロックを用いて社内にて校正をした寸法測定器を測定範囲、測定精度によって選択。
  • 外観検査は、当社で開発した表面品質比較判断プレート」を使用。「表面品質比較判断プレート」は、産総研にて測定をしていただき、ホームページ上に不確かさを明記。また、スクラッチ幅やお客様のご要望により使用する光源や装置を選択。

関連リンク

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超高精度平面製作技術

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極めて滑らかな表面粗さ

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