平面基板・単結晶基板

平面基板・単結晶基板

一般光学ガラス、合成石英、水晶、シリコン等の平面基板を製作します。Φ600㎜の大型平面基板の製作が可能です。測定器はZygo社の12インチλ/20のレーザー干渉計をはじめ、産総研との共同研究成果の6インチλ/60基準原器4インチ90%λ/100基準原器などの超高精度測定器で確実な品質保証をいたします。
また、両面ポリッシュも多数保有しており、平行平面基板は短納期で確実な品質保証でお納めすることができます。Φ300mmの平行平面基板もZygo社の12インチ干渉計で品質保証をして納品いたします。

テクニカルの平面基板

業界トップレベルの加工技術を活用した平面基板製品・サービスを提供しています。
テクニカルの高精度平面は各分野で多くの実績があります。

Φ300mmの大型平面基板

Φ300mmの大型平面基板

低膨張&軽量平面基板

低膨張&軽量平面基板

各種平行平面基板

各種平行平面基板各種平行平面基板各種平行平面基板各種平行平面基板各種平行平面基板各種平行平面基板各種平行平面基板各種平行平面基板

対応素材

ルビーの加工ルビー

CaF2の加工CaF2

セラミックの加工セラミック

水晶の加工水晶

サファイヤの加工サファイヤ

加工精度

片面ポリッシュ
最小加工形状 Φ0.15㎜~
最大加工形状 Φ600㎜~
寸法公差 外周公差±0.01㎜~(厚み公差±0.001㎜以下)
平行度 ±1秒以下
面精度 Φ90㎜の範囲内にてλ/100(測定値)
Φ150㎜の範囲内にてλ/60(測定値)
Φ300mmの範囲内にてλ/20(測定値)
表面粗さ 2Å(rms)~
外観規格 スクラッチ1μm
ディグ5μm
硝材 一般光学ガラス、合成石英、サファイヤ、水晶、ルビー、ジルコニア、セラミック、YAG、蛍石、シリコン、ゲルマニウム、フッ化マグネシウム等
両面ポリッシュ
最小加工形状 Φ15㎜~
最大加工形状 Φ360㎜~
寸法公差 外周公差±0.01㎜~(厚み公差±0.001㎜以下)
平行度 ±1秒以下
面精度 Φ90㎜の範囲内にてλ/4~
Φ150㎜の範囲内にてλ/2~
Φ300mmの範囲内にてλ/3~
表面粗さ 6Å(rms)~
外観規格 スクラッチ5μm
ディグ5μm
硝材 一般光学ガラス、合成石英、シリコン

加工・測定装置

加工機器

縦軸ロータリー縦軸ロータリー

ラッピングマシンラッピングマシン

マシニングセンタマシニングセンタ

大型切断機大型切断機

両面ポリッシュ9B両面ポリッシュ9B

両面ポリッシュ16B両面ポリッシュ16B

レーザー干渉計

zygo12インチ干渉計zygo12インチ干渉計

12インチ用反射板12インチ用反射板

測定装置

zygo表面粗さ測定装置zygo表面粗さ測定装置

外観検査(顕微鏡検査)外観検査(顕微鏡検査)

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平面基板、プリズム加工など
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