平面基板・単結晶基板

平面基板・単結晶基板

一般光学ガラス、合成石英、水晶、シリコン等の平面基板を製作します。Φ600 ㎜の大型平面基板の製作が可能です。
測定器はZygo 社の12 インチλ/20 のレーザー干渉計をはじめ、産総研との共同研究成果の6 インチλ/60 基準原器4 インチ90%λ/100 基準原器などの超高精度測定器で確実な品質保証をいたします。
また、両面ポリッシュも多数保有しており、平行平面基板は短納期で確実な品質保証でお納めすることができます。
Φ300mm の平行平面基板もZygo 社の12 インチ干渉計で品質保証をして納品いたします。
当社の検査・加工技術は世界的にもトップレベルです。試作メーカーとして国内数百社のお客様に製品をお納めしております。

表面粗さRMS 1Å以下

Zygo NEWVIEW7300を用いて測定しRMS 0.871Åという極めて滑らかな平面の研磨に当社で初めて成功しました。

測定画面測定画面
測定パラメータ測定パラメータ

加工寸法

片面ポリッシュ
最小加工形状 Φ0.15㎜~
最大加工形状 Φ600㎜~
寸法公差 外周公差±0.01㎜~(厚み公差±0.001㎜以下)
平行度 ±1秒以下
面精度 Φ90㎜の範囲内にてλ/100(測定値)
Φ150㎜の範囲内にてλ/60(測定値)
Φ300mmの範囲内にてλ/20(測定値)
表面粗さ 1Å(rms)~
外観規格 スクラッチ1μm
ディグ5μm
硝材 一般光学ガラス、合成石英、サファイヤ、水晶、ルビー、ジルコニア、セラミック、YAG、蛍石、シリコン、ゲルマニウム、フッ化マグネシウム等
両面ポリッシュ
最小加工形状 Φ15㎜~
最大加工形状 Φ360㎜~
寸法公差 外周公差±0.01㎜~(厚み公差±0.001㎜以下)
平行度 ±1秒以下
面精度 Φ90㎜の範囲内にてλ/4~
Φ150㎜の範囲内にてλ/2~
Φ300mmの範囲内にてλ/3~
表面粗さ 6Å(rms)~
外観規格 スクラッチ5μm
ディグ5μm
硝材 一般光学ガラス、合成石英、シリコン

Φ300mmの大型平面基板

Φ300mmの大型平面基板

低膨張&軽量平面基板

低膨張&軽量平面基板

各種平行平面基板

各種平行平面基板各種平行平面基板各種平行平面基板各種平行平面基板各種平行平面基板各種平行平面基板各種平行平面基板各種平行平面基板

加工可能材質

ルビーの加工ルビー

CaF2の加工CaF2

セラミックの加工セラミック

水晶の加工水晶

サファイヤの加工サファイヤ

SiCの加工SiC

基板の測定保証について

  • 面精度(平面度)を測定する当社レーザー干渉計は、産総研との共同研究で開発したφ90mm λ/100、φ150mm λ/60の基準原器で国家標準とのトレーサビリティを確保しています。
  • 表面粗さの測定は、zygoの三次元構造解顕微鏡で測定をします。測定精度は1Åです。
  • 平行度の測定は、通常ニコン6D暗視野オートコリメーターを使用して3秒以下を測定します。高精度測定の場合は、Zygoの干渉計で0.5秒以下を測定します。
  • 寸法測定装置は、当社保有の(株)ミツトヨゲージブロック 50mm、100mm、150mm、200mm を用いて社内にて校正をしております。なお、ここに掲げている測定器以外も同様に校正をしております。各種寸法測定装置の測定範囲、測定精度については「測定設備」のページをご覧ください。
  • 外観検査は、当社で開発した表面品質比較判断プレート」を使用しています。「表面品質比較判断プレート」は、産総研にて測定をしていただき、ホームページ上に不確かさを明記しております。また、スクラッチ幅やお客様のご要望により使用するこう光源や装置も使い分けております。詳しくは「当社MIL規格の仕様」をご覧ください。

関連リンク

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超高精度平面製作技術

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